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三維光學(xué)輪廓儀

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

在同等系統(tǒng)放大倍率下,以白光干涉技術(shù)為原理的SuperViewW1三維光學(xué)輪廓儀的檢測(cè)精度和重復(fù)精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡,在一些納米級(jí)和亞納米級(jí)超精密加工領(lǐng)域提供高精度檢測(cè)功能。

產(chǎn)品型號(hào):SuperViewW1
更新時(shí)間:2024-05-12
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1281
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在同等系統(tǒng)放大倍率下,以白光干涉技術(shù)為原理的三維光學(xué)輪廓儀的檢測(cè)精度和重復(fù)精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡,在一些納米級(jí)和亞納米級(jí)超精密加工領(lǐng)域提供高精度檢測(cè)功能。


SuperViewW1白光干涉儀,光學(xué)3D表面輪廓儀.jpg


SuperViewW1三維光學(xué)輪廓儀采用經(jīng)國(guó)家計(jì)量檢測(cè)研究院校準(zhǔn)的臺(tái)階高標(biāo)準(zhǔn)片作為測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)件,采用該標(biāo)準(zhǔn)片對(duì)儀器的檢測(cè)精度和重復(fù)性進(jìn)行驗(yàn)收,其中臺(tái)階高標(biāo)準(zhǔn)片高度在4.7um左右,測(cè)量精度要求為<0.75%,重復(fù)精度要求<0.1%(1σ)(測(cè)量15次獲取的數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)差)。載物臺(tái)尺寸為320*200mm(可定制),行程為140*110mm(可定制);測(cè)量的Z向范圍可達(dá)10mm(2.5X鏡頭),Z向的精度達(dá)0.1nm。


產(chǎn)品功能

1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能;

2)測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能;

3)測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能;

4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。


應(yīng)用領(lǐng)域

對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。


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