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當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心輪廓儀光學(xué)3D輪廓儀SuperViewW1OP光學(xué)輪廓儀
OP光學(xué)輪廓儀

產(chǎn)品簡介

中圖儀器OP光學(xué)輪廓儀由照明光源系統(tǒng),光學(xué)成像系統(tǒng),垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。是以白光干涉技術(shù)為原理,能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率,測試各類表面并自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)的光學(xué)測量儀器。

產(chǎn)品型號(hào):SuperViewW1
更新時(shí)間:2024-05-12
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1372
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中圖儀器OP光學(xué)輪廓儀由照明光源系統(tǒng),光學(xué)成像系統(tǒng),垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。是以白光干涉技術(shù)為原理,能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率,測試各類表面并自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)的光學(xué)測量儀器。


產(chǎn)品功能

1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測量功能;

2)測量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能;

3)測量中提供自動(dòng)拼接測量、定位自動(dòng)多區(qū)域測量功能;

4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。


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結(jié)果組成

1、三維表面結(jié)構(gòu):粗糙度,波紋度,表面結(jié)構(gòu),缺陷分析,晶粒分析等;

2、二維圖像分析:距離,半徑,斜坡,格子圖,輪廓線等;

3、表界面測量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;

4、薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測量;

5、劃痕形貌,摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量;

6、微電子表面分析和MEMS表征。


在同等放大倍率下,中圖儀器OP光學(xué)輪廓儀的測量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。它的雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設(shè)計(jì),既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣,在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動(dòng),同時(shí)內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動(dòng),確保儀器在車間也能正常工作。

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