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激光干涉測量儀

產(chǎn)品簡介

SJ6000激光干涉測量儀與不同光學附件結(jié)合,可以測量距離、直線度、垂直度平行度、平面度。由于儀器為模塊化結(jié)構(gòu),安裝位置靈活,便于分析機床誤差來源;而且測量時可以在工作部件運動過程中自動采集數(shù)據(jù),更接近機床的實際使用狀態(tài)。

產(chǎn)品型號:
更新時間:2024-05-12
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:2483
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激光干涉測量儀可對機床進行校準、檢測機器人的重復(fù)定位精度......并提供數(shù)據(jù)補償依據(jù),是高品質(zhì)測量儀器產(chǎn)品


中圖儀器測量重復(fù)定位精度的配置主要由SJ6000主機、EC20環(huán)境補償單元、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成,可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測量。


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SJ6000激光干涉測量儀的靜態(tài)測量軟件可以將線性測量結(jié)果生成誤差補償表,該表涵蓋了各個測量點的補償值,運動控制系統(tǒng)制造商允許通過修改運動軸的補償值來消除該運動軸的位置誤差,精確的補償,可以降低運動軸的位置誤差。


線性測量中目標位置的數(shù)據(jù)采集有基于位置的目標采集和基于時間的目標采集兩種方式,普遍采用基于位置的目標采集方式,即:被測運動軸需設(shè)定若干個等距的定位點,當運動軸移動到設(shè)定的定位點時,需設(shè)置停留時間,以供SJ6000測量軟件進行當前點的數(shù)據(jù)采集。


技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號:SJ6000

產(chǎn)品名稱:SJ6000激光干涉儀

穩(wěn)頻方式:激光熱穩(wěn)頻

穩(wěn)頻精度:0.05ppm

線性測量精度:0.5ppm(0-40)℃

線性測量距離:(0-80)m(無需遠距離線性附件)

角度測量精度:±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

測量分辨力:1nm

動態(tài)采集頻率:50KHz

預(yù)熱時間:≤6分鐘

工作溫度范圍:(0-40)℃

環(huán)境溫度范圍:(0-40)℃,環(huán)境濕度:0-95%

主要特點:應(yīng)用范圍廣、測量精度高、操作方便

生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋:更多詳細產(chǎn)品信息,請聯(lián)系我們獲取


SJ6000激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體,可實現(xiàn)高精度、長期穩(wěn)定的激光頻率輸出,具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點,與不同光學附件結(jié)合,可以測量距離、直線度、垂直度平行度、平面度。由于儀器為模塊化結(jié)構(gòu),安裝位置靈活,便于分析機床誤差來源;而且測量時可以在工作部件運動過程中自動采集數(shù)據(jù),更接近機床的實際使用狀態(tài)。

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