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SJ6000激光干涉儀檢定位移傳感器的應(yīng)用

更新時間:2022-03-09      點(diǎn)擊次數(shù):1475

利用激光干涉儀對位移傳感器檢定成為發(fā)展趨勢,其特點(diǎn)是測量精度高、反應(yīng)速度快、易于數(shù)字化測量。


在測量中設(shè)計一個精密導(dǎo)軌,將反射鏡同被測傳感器放在一起同步檢測,從而形成對比。位移傳感器自動檢定系統(tǒng)與SJ6000激光干涉儀(標(biāo)準(zhǔn))對定長位移進(jìn)行測試對比,得出往復(fù)測試實驗結(jié)果。實驗環(huán)境:室溫18℃;相對濕度:52%RH;氣壓:754mmHg給出的位移檢定系統(tǒng)的讀數(shù)與激光干涉儀讀數(shù),其差值小于±2.0um,這一誤差滿足預(yù)期的研究指標(biāo)要求(不大于±2.5um)。



SJ6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、*高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。


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